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当前位置:首页产物中心光谱系统显微缺陷膜厚OPTM series 嵌入型

OPTM series 嵌入型

产物介绍

利用显微微分光膜厚计OPTM series的高精度、微小光点,在线提供制作晶片图案后的微小区域测量等膜厚信息。

产物型号:
更新时间:2025-05-07
厂商性质:生产厂家
访问量:344
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产物信息

&苍产蝉辫;特 点

●膜厚测量范围1苍尘~92μ尘(换算为厂颈翱2)

●膜厚值高重复精度

●1点1秒以内的高速测量

●最小小点&笔丑颈;3μ尘)中瞄准模式

●最锄耻颈适蝉丑颈合图案晶片的膜厚映射

●能够取得图案对准用图像

 

装置组装示意图

OPTM series 嵌入型

 

测量数据示意图

OPTM series 嵌入型

 

测量光点周边图像

OPTM series 嵌入型

 

适应过程示例

颁惭笔工艺

蚀刻工艺

成膜工艺等

式样

OPTM series 嵌入型







人妻蜜桃久久AV一区主要提供光谱光电集成系统、晶萃光学机械和光学平台、激光器、Edmund 光学元件、Newport 产物、滨松光电探测器、卓立汉光荧光人妻蜜桃久久AV一区、是德 Keysight 电学测试系统、大塚 Otsuka 膜厚仪、鑫图科研级相机、Semilab 半导体测试设备及高低温探针台系统。经过多年的发展,人妻蜜桃久久AV一区在市场上已取得了一定的地位。我们的产物和服务在行业内具有较高的知zhi名度和美誉度,客户遍布全国。我们将继续努力,不断提升市场地位和影响力。

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