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利用显微微分光膜厚计OPTM series的高精度、微小光点,在线提供制作晶片图案后的微小区域测量等膜厚信息。
●Φ支持到300mmEFM单元备用端口的集成 ●实现嵌入在晶片中的布线图案的图案对齐 ●支持半导体工艺的高吞吐量要求 ●支持槽口对齐功能 ●小尺寸规格 ●高精度自动校准单元
半导体晶圆缺陷检测仪利用亮场和暗场显微成像技术,通过自动化的图像捕捉以及人工智能分析工具,为晶圆表面缺陷的检测提供了快速且高效的解决方案。
ZETA电位 · 粒径 · 分子量测试系统可测量浓度低的溶液~浓度高的溶液的ZETA电位?粒径及分子量。
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