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SIRM是非接触和非破坏型光学检测设备，对体微缺陷，如氧化物和金属沉淀，位错、堆垛层错，体材料中的滑线和空隙等进行测试。 这个技术也可对GaAs 和 InP等复合材料进行测试。
尝厂罢是检测半导体材料的体微缺陷有力工具，通过颁颁顿相机，对入射光在样品边沿的散射进行扫描，获得体微缺陷分布信息。
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服务热线： 021-33897997
公司地址： 上海市浦东新区周康路26号贰栋408
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更新时间：2025-05-07
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